Chifukwa Chake Ma Disk Oyandama a Gasi Amakhala Osagwirizana mu Epitaxy Yotentha Kwambiri

Ma disk a gasi oyandama omwe amagwiritsidwa ntchito mu njira zotentha kwambiri za epitaxy amapereka kukhazikika kwa ma wafers ndipo amawasunga ndi kuyenda kwa mpweya kofanana. Mu malo opangira, ogwiritsa ntchito angaone kuti pakapita nthawi ma disks awa amataya kufanana kwawo. Ngakhale kusintha pang'ono kungakhale kochepa pa kufanana kwa kuyenda kwa mpweya ndi kukhazikika kwa ma wafers, disk yopendekeka ingayambe chifukwa cha kuwonongeka pang'ono kapena kusonkhana pamwamba pa disk, ndipo ikhoza kuipiraipira pakapita nthawi. Izi ndi zomwe ziyenera kumvedwa kuti tipewe nthawi yogwira ntchito komanso kulephera kwa chinthucho. Kwa zaka zambiri, pazochitika za tsiku ndi tsiku mu fab, kusintha pang'ono kwa kutentha ndi momwe zinthu zimayendera kumatha kusokoneza ma disks masiku ano.

Njira Zosinthira Kutentha mu Ma Disk Oyandama a Gas a AMAT Centura5200

Disiki yoyandama ya gasi imatha kutaya kusalala kwake mu dongosolo la AMAT Centura5200 chifukwa cha kutentha. Pa kutentha kwambiri Epitaxy kukula , diski imatenthedwa mosafanana ndi chipinda cha reactor. Imalandira mphamvu zambiri za ma radiation ndi plasma kuchokera pamwamba, ndipo mpweya wozizira umayenda kuchokera pansi. Kusiyana kwa kutentha kumabweretsa kupsinjika kwa kutentha muzinthuzo. Kubwerezabwereza kwa chitsulo kapena pamwamba pophimbidwa ndi kutentha kosiyanasiyana kumabweretsa kukula ndi kupindika kwa zinthu za disk. Ngakhale kupsinjika pa kutentha kulikonse kungakhale kochepa, kukachitika mobwerezabwereza kwa mazana kapena zikwizikwi, kupsinjika kotsala komwe kumasonkhanitsidwa kumayamba kupanga kusintha kwa kutentha. Madera ena amakula ndikutambasuka kwambiri kuposa ena ndipo kumabweretsa kupindika pang'ono mu disk. Kupendekeka pang'ono kumeneku kungasokoneze khushoni ya mpweya yomwe imalola disk kuyandama mofanana. Kusintha kwa kutentha kumathanso kuyambitsidwa ndi kusintha kwa kutentha kudutsa disk. Gawo limodzi la disk likhoza kukhala pafupi ndi gwero la kutentha kapena kulandira mpweya wozizira pang'ono. Gawo limodzi kenako limatambasuka kwambiri kuposa linzake. Vutoli lingabuke mutakonza kapena kuyeretsa chifukwa makhalidwe a mpweya nthawi zambiri amasinthidwa, ndipo nthawi zambiri kuona kusakhazikika kwa disk pambuyo pa ntchito yomwe ili pamwambapa. Kuyenda ndi vuto. Kutentha kwambiri kumayambitsa kusintha pang'onopang'ono kwa zinthu za disk pansi pa katundu wokhazikika. Iyi ndi njira yocheperako popanda kusweka mwadzidzidzi; Komabe, imayimira "kukumbukira kupsinjika" pang'onopang'ono. Mu zinthu zina zodabwitsa, zanenedwa kuti kunapezeka kupendekeka pang'ono mu diski patatha miyezi yambiri yogwira ntchito popanda zolakwika zooneka. Chitsanzo chofotokozera chikhoza kuwonedwa kuchokera ku Sic epitaxy mzere pamene wafer inasonyeza makulidwe osafanana. Kufufuza mosamala kwa diski yoyandama ya gasi m'chipindamo kunapeza diski yokhotakhota. Choyambitsa chinafufuzidwa kuti chimachokera ku kutentha kwambiri, ndi kayendedwe kozizira kwa gasi kumbuyo kosafanana. Kukhazikika kwa diski yoyandama ya gasi kumagwirizanitsidwa makamaka ndi kugawa kutentha kolamulidwa, kuyenda kwa gasi kodalirika, ndi kusintha ma disks asanayambe kugwedezeka kwakukulu.

Kodi Kufanana kwa CVD TaC Coating Kumakhudza Bwanji Kukhazikika kwa Disk ndi Kukhazikika?

Zophimba za CVD TaC nthawi zambiri zimagwiritsidwa ntchito pa ma disk oyandama a gasi chifukwa zimapangidwa bwino, zimagwira ntchito bwino polimbana ndi kutentha ndi dzimbiri pansi pa malo olimba a epitaxy. Koma ngakhale chophimba cholimba cha tantalum carbide sichingapewe kufunika kokhala ndi makulidwe ofanana a chophimba pa kusalala ndi kukhazikika panthawi yogwira ntchito ya disk yoyandama ya gasi. Pamene makulidwe a chophimbacho ali ofanana bwino pamwamba ponse, disk yomwe ili ndi kutentha kwakukulu ndi kupanikizika kwakukulu kwa mpweya imakula mofanana, kutentha kumafalikira mofanana pa disk popanda kupsinjika pang'ono mkati. Nthawi yomweyo, khushoni la gasi pansi pa disk likhoza kupangidwa mofanana, zomwe zimathandiza malo a wafer kukhala olimba panthawi yokukula. Vutoli limachitika pamene pali kusiyana kwa makulidwe a chophimba pamwamba ponse. Mbali imodzi yomwe ili ndi gawo lokhuthala pang'ono la chophimba imawonjezera kuuma kwambiri m'derali ndipo imayankha mosiyana kutentha kwambiri, ikhoza kukula pang'onopang'ono kapena ngakhale kufupika poyerekeza ndi malo owonda. Kudzera mu kutentha kosalekeza, kuchulukana kwa mphamvu komwe kumachitika chifukwa cha kusiyana kumeneku kungayambitse kupsinjika kwamkati ndikupangitsa kuti maziko a disk omwe anali athyathyathya poyamba anali osalala bwino. Pakupanga kwenikweni, timawona vutoli ngati kutalika kosakhazikika kwa ma wafer, kapena pakati pa ma wafer amayamba kusuntha pang'ono, ngakhale zina zonse zikuwoneka bwino. Mainjiniya opanga angazindikire izi akaona kuti kusiyana kwa makulidwe apakati ndi m'mphepete kwa wafer yosungidwayo kwawonjezeka mosayembekezereka, komabe, akamayang'ana chipinda, angazindikire kuti disk yoyandama ili kale ndi "kapangidwe kokweza" komwe nthawi zambiri kumagwirizana ndi kusiyana kwa ma wafer. Ndikukumbukira chitsanzo chimodzi cha vutoli pa mzere wopanga wa SiC. Diski yoyandama ya gasi imawoneka bwino kwambiri ikangomaliza kuphimba. Kenako idayamba kuwonetsa kupindika pang'ono pambuyo pa nthawi yogwira ntchito kutentha kwambiri. Tinapeza kuti kwenikweni inasonyeza kusiyana kwa ma micrometer angapo mu makulidwe ndi kusanthula, mtengo wochepa umenewo unali chifukwa cha diski yopindika pang'ono yomwe ikugwira ntchito pa 1500C. Kuwongolera bwino kuchuluka kwa mpweya, kutentha kwa thupi, ndi kuzungulira kwa diski panthawi yopaka utoto ndikofunikira mu ndondomekoyi, ndipo kuyeza makulidwe a chophimba kumayesedwa nthawi zonse kuti tipewe kusuntha koyambirira kwa zinthu zomwe zikuchitika, ndipo njira yopaka utoto idzakonzedwanso.

Miyezo Yokonzanso Ma Disk Oyandama a Gas a AMAT a Njira Zolondola za Epitaxy

Ma disk oyandama a gasi mu zida za epitaxy zogwiritsira ntchito zida zolondola monga AMAT Centura ndi ofunikira kuti chidebecho chikhazikike panthawi ya kutentha kwambiri. Pali njira yokhwima yogwiritsira ntchito pokonza ma disk osweka, opunduka kapena opakidwa mofanana. Zolakwika zilizonse pakukonza zidzakhudza momwe chidebe cha gasi chimagwirira ntchito komanso momwe chidebecho chimakhalira. Chinthu chomwe chimayesedwa kwambiri mukakonza ndi kusalala kwa pamwamba. Kukonza kuyenera kukwaniritsa kusalala kolimba kwambiri, chifukwa ngakhale pang'ono pang'ono kungasokoneze kayendedwe ka mpweya. Kupera kapena kupukuta kulikonse kuyenera kuonetsetsa kuti zinthu zofanana zachotsedwa pamwamba ponse; kupukuta kosagwirizana ndiye chifukwa cha kulephera kwa disk koyambirira. Kukonzanso kupaka ndi vuto lalikulu. Ma disk ambiri amatetezedwa ndi CVD TaC ndi zokutira zolimba zofanana. Mukabwezeretsanso kupaka, ndikofunikira kuonetsetsa kuti makulidwe a wosanjikiza ndi ofanana pamwamba ponse pa disk. Kulemera kosagwirizana kwa kupaka kumapangitsa kuti gawolo liziyankha mosiyana likatenthedwa ndipo lingathandize kupendekera kapena kukweza kosagwirizana panthawi yogwira ntchito. Ma Fabs adawona ma disks akudutsa muyeso wowoneka bwino atakonzedwa, koma amakhala ndi kutalika kosakhazikika pambuyo pa maulendo angapo chifukwa cha vuto ili. Ngakhale zikuwoneka ngati zazing'ono, kuyeretsa musanakonze ndikofunikira kwambiri. Zodetsa zosachotsedwa kapena zinthu zomwe zimachitika pa substrate yoyambira zidzasokoneza umphumphu wa chomangira chatsopano. Pa mzere wina wa SiC epitaxy, disk yokonzedwanso idabwezeretsedwanso kupangidwa ndipo patatha sabata imodzi idawonetsa zizindikiro za kugwedezeka pa wafer. Kuyang'ana disk pambuyo pokonza kunawonetsa zotsalira zomwe zidagwidwa pansi pa chomangira chokonzanso chomwe chinali kukula pang'onopang'ono chifukwa cha kutentha kwa nyengo. Pambuyo pokonza, ma disks nthawi zambiri amakonzedwa kutentha kwambiri kuti achepetse kupsinjika komwe kumachitika panthawi yokonza. Ogwira ntchito amayang'anira disk panthawiyi kuti azindikire zizindikiro zoyambirira za kupindika kapena kukweza kosasinthasintha. Ndikofunikira osati kungokonza kuwonongeka, komanso kubwezeretsanso bwino kwa zinthu zotentha, kusalala kwa pamwamba, ndi kuyenda kwa mpweya kuti zitsimikizire kuti disk yokonzedwayo igwira ntchito ngati yatsopano panthawi yopanga.

Ubale Pakati pa Kugawa Kutentha ndi Kukhazikika kwa Kutulutsa Mafuta a Wafer

Pa nthawi ya mpweya woyenda pa wafer panthawi ya epitaxy, kutentha komwe kumagawidwa mofanana pa disk ndi chipinda ndiye chinsinsi. Ngati kutentha kufalikira mofanana, filimu ya mpweya yomwe ili pansi pake idzakhala yofanana ndipo wafer idzakhalabe yolinganizika. Kutentha kosagwirizana kudzayamba kusokoneza bwino. Pa nthawi yeniyeni ya AMAT Centura, pakati pa wafer padzakhala kotentha kwambiri kuposa m'mphepete. Chifukwa cha izi ndikuti chotenthetsera sichipanga mapu otentha ofanana pamwamba pa wafer, ndipo kuzizira kwa mpweya kumbuyo sikungakhale kofanana. Wafer ikatentha kwambiri pamalo amodzi, imakula kwambiri pamalo amenewo, zomwe zimasuntha pang'ono kayendedwe ka mpweya pansi pake. Mpweya ukasuntha, kutalika kwa levitation kwa wafer kumasinthidwa. Mbali imodzi ya wafer idzayandama pang'ono kuposa inzake. Ngakhale izi sizingawonekere nthawi zonse ndi maso, chida choyendetsera ntchito chingawerenge izi ngati kuyenda pang'ono kapena kugwedezeka panthawi ya kukula. Njira yosavuta yowonera izi ndi kuganiza za air hockey puck yopyapyala koma mbali imodzi ya malo osewerera ikutentha pang'ono; Puck ikadali yoyandama, koma imasunthika kapena kupendekera kumbali yozizira ya pamwamba. Lingaliro lofananalo limagwiranso ntchito ku chipinda chokulirapo. Pakupanga kwenikweni izi zidzawoneka ngati kusiyana kwa makulidwe pakati pa ma wafer, ndi/kapena kusintha pang'ono pakulinganiza pambuyo pa kuthamanga kwa nthawi yayitali. Gulu lina lokongola lidakumana ndi kukula kosakhazikika pang'ono kwa epitaxy atachita kukonza, ndipo poyang'anitsitsa adapeza kuti kusintha kwa mawonekedwe otenthetsera chipinda kudapangidwa; adasintha pang'ono malo otentha, zomwe zidaletsa mpweya womwe umayendetsa diski kuti isagwire ntchito momwe ziyenera kukhalira ndi kutentha kosagwirizana.

Pofuna kuchepetsa kusakhazikika kwa diski yoyendetsa, ogwiritsa ntchito nthawi zambiri amasamala zinthu zitatu zazikulu: mawonekedwe ofanana a zinthu zotenthetsera, kuyenda kwa mpweya kumbuyo komwe kumayenda nthawi zonse, ndi kusintha kulikonse pakuwonongeka kwa mphete ya O-ring ya chipinda komanso pamwamba pa diski.

Kukonza Kapangidwe ka Disiki Yoyandama ya Gasi Kuti Ikhale Yodalirika Kwambiri pa Kutentha

Kupanga diski yoyandama ya gasi kuti igwiritsidwe ntchito pa ma cycle ambiri mu chida cha epitaxy nthawi zambiri kumafuna mphamvu ya kutentha. Sikuti imangogwira ntchito kutentha kwambiri, iyenera kutero pambuyo pa ma run 100 mpaka 1000, popanda kutsika pang'onopang'ono. Kusankha zinthu ndikofunikira apa. Zipangizo za substrate ziyenera kukhala ndi mphamvu yotha kutentha popanda kupanga mbiri yayikulu ya kupsinjika pakapita nthawi. Kupsinjika kudzawonjezeka ngati zinthuzo zili ndi ma coefficients apamwamba ndipo zimadutsa ma cycle achangu a kutentha. Kukula kwa kutentha kwa substrate kuyeneranso kufananizidwa bwino ndi overcoat. Mu malo okongola ngakhale kusagwirizana pang'ono kwa kutentha pakati pa zinthu kudzawonjezeka pakapita nthawi ndipo disk idzasokonekera, ngakhale poyamba ingawoneke bwino. Kapangidwe ka Overcoat nakonso n'kofunikira. Chophimba cha CVD TaC chofanana pa disk chidzathandiza kuyamwa kutentha mofanana pamwamba pake. Ngati chophimbacho chili ndi makulidwe osiyanasiyana chidzakhala ndi kuchuluka kwa kutentha kosiyana pamwamba, zomwe zimapangitsa kupsinjika komwe kumabwera chifukwa cha kutentha komwe kudzasokoneza disk pakapita nthawi. Akukhulupirira kuti m'magulu ena opanga izi zitha kuchitika pakapita nthawi yayitali pamene ma disk akusintha pang'onopang'ono kuchoka pa mawonekedwe athyathyathya kupita ku mawonekedwe a dome. Mawonekedwe a geometrical nawonso ndi ofunikira kwambiri. Kupatuka kulikonse mu mawonekedwe a dzenje, makulidwe a m'mphepete, madera othandizira, ndi zina, kumatha kusintha momwe mpweya umayendera pansi pa disk. Kuyenda kosafanana kungayambitse kuti disk inyamuke mosagwirizana pansi pa zochitika, zomwe zimapangitsa kuti kupsinjika kwina kukhale kowonjezereka panthawi ya kutentha, zomwe zingathandize kuti iwonongeke mwachangu. Chitsanzo cha kapangidwe kabwino kamene kamagwira ntchito pansi pa kutentha kunawoneka pa mzere wa SiC epitaxy; asanasinthe kupita ku kapangidwe ka disk kosinthidwa, anali ndi kusuntha kwakukulu pambuyo pa kuthamanga kwa nthawi yayitali. Akasintha kupita ku disk yokhala ndi njira zoyendetsera bwino, kusuntha kunachepa, chifukwa mawonekedwe okweza a disk adasungidwa molondola kwambiri panthawi yonse yogwira ntchito monga momwe zatsimikiziridwa ndi kuyang'anira kwa nthawi yayitali kwa ma disks oyamba ndi osinthidwa. Kudalirika kwa kutentha kumadaliranso ndi mawonekedwe ozizira. Ngati disk sizizira mofanana, izi zitha "kutseka" kupsinjika ndipo chifukwa chake zimayambitsa kuwonongeka kwina ndi kuyendetsa. Kusalala kwa nthawi yayitali kumachokera pakukwaniritsa bwino pakati pa magwiridwe antchito ndi zokutira ndi kuyenda kwa mpweya komwe kumapangidwira kudzera mu disk.