Kupaka kwa CVD Tantalum Carbide (TaC).

Kuphimba kwa TaC nthawi zambiri kumaganiziridwa pamene SiC yayamba kufika pamalire ake. Izi zimachitika kawirikawiri mu SiC epitaxy kapena kukula kwa kristalo, komwe kutentha ndi mlengalenga wa njira zonse zimakhala zovuta kwambiri.

Ndi malo osungunuka kwambiri, TaC imasamalira kutentha kwambiri kwa nthawi yayitali, makamaka m'malo okhala ndi haidrojeni kapena HCl. Mwachizolowezi, izi zimapangitsa kusiyana mu njira monga kukula kwa PVT, komwe kukhazikika kwa kutentha kumakhudza mwachindunji mtundu wa kristalo.

Ntchito zomwe zimagwiritsidwa ntchito nthawi zambiri zimaphatikizapo mphete zoyendetsera madzi, zosungira mbewu, zigawo zokhudzana ndi mtanda, ndi zina zomwe zili mkati mwa munda wotentha. Zigawozi zimakhala zovuta kwa nthawi yayitali, kotero kuchepetsa kuwonongeka kumakhala kofunikira. Mu zina, TaC pang'onopang'ono ikusintha zinthu zakale monga pBN, komanso zigawo zina zophimbidwa ndi SiC, ngakhale izi zimadalirabe mtengo ndi kapangidwe ka njira.