Chophimba cha CVD SiC

Mu kupanga zinthu zapamwamba za semiconductor, kukhazikika kwa njira mkati mwa ma epitaxial reactors kumatsimikiza mwachindunji magwiridwe antchito a chipangizocho, kukolola, ndi kudalirika kwa nthawi yayitali. Semixlab's CVD SiC Coating Baffle ndi gawo la chipinda chogwira ntchito bwino kwambiri lopangidwa kuti lizikula bwino kwambiri, kuphatikizapo silicon (Si), silicon carbide (SiC), ndi njira za semiconductor zophatikizika. Kuphatikiza kapangidwe kolondola ka kapangidwe kake ndi ukadaulo wapamwamba kwambiri wa silicon carbide wokutira, chinthuchi chimapereka malamulo abwino kwambiri oyendetsera mpweya, kuwongolera tinthu tating'onoting'ono, ndi kukhazikika kwa malo otentha a nsanja za epitaxial za m'badwo wotsatira.

Mkati mwa ma reactor a epitaxial, makamaka mu ma reactor a MOCVD kapena CVD omwe amagwira ntchito pamwamba pa 1000°C komanso mu SiC epitaxy systems yoposa 1600°C, mphamvu zamkati za mpweya ndi kutentha zimakhudza kwambiri kuwongolera makulidwe a zigawo, kusinthasintha kwa kugawa kwa dopant, ndi kuchuluka kwa kristalo. Ma baffles okhala ndi CVD SiC amagwira ntchito ngati kasamalidwe kofunikira ka kayendedwe ka kayendedwe ka madzi ndi zinthu zoteteza mkati mwa zipinda zogwirira ntchito. Amasintha mawonekedwe ndikukhazikitsa kuyenda kwa mpweya wa process, amachepetsa kugwedezeka pafupi ndi m'mphepete mwa wafer, ndikulimbikitsa kufalikira kofanana kwa precursor kudutsa magawo akuluakulu.

Kupitilira pa malamulo oyendetsera kayendedwe ka madzi, kuletsa kupanga tinthu tating'onoting'ono ndikofunikira kwambiri kuti tipeze kupanga kwa epitaxial kopindulitsa kwambiri. Kuphwanyika, kusweka kwa tinthu tating'onoting'ono, ndi kuipitsidwa kuchokera ku zipangizo zachikhalidwe za chipinda zimayambitsa tinthu tating'onoting'ono ta submicron zomwe zimawononga kwambiri magwiridwe antchito a chipangizocho. Ma baffles a Semixlab a CVD SiC-coated amagwiritsa ntchito CVD SiC yoyera kwambiri, yomwe imapereka kukhuthala kwapadera, kuuma, komanso kusakhala ndi mphamvu kwa mankhwala. Chophimbachi chimapanga malo olimba, osabowola omwe amalimbana ndi kukokoloka kwa mpweya wowononga (HCl, Cl₂, ndi zotumphukira za silane) pomwe amapirira kutentha mobwerezabwereza popanda kuwonongeka kwa kapangidwe kake. Izi zimachepetsa kwambiri kupanga tinthu tating'onoting'ono ndikuwonjezera nthawi yogwira ntchito ya zida zonse.

Kuyang'anira kutentha kumayimira ntchito ina yofunika kwambiri ya CVD SiC Coating Baffles mkati mwa machitidwe a epitaxial. CVD silicon carbide's high thermal coefficient and low coefficient of thermal expansion (CTE) zimathandiza kugawa kutentha kofanana mkati mwa chipinda. Panthawi ya kukula kwa kutentha kwambiri, ma baffle amagwira ntchito ngati zokhazikika kutentha, kuchepetsa kutentha komwe kungayambitse kusintha kwa kuchuluka kwa kukula kapena kuphatikizika kwa dopant.

Semixlab imagwiritsa ntchito miyezo yokhwima yowongolera khalidwe posankha zinthu, kuikapo utoto wa CVD, kulondola kwa makina, ndi kuwunika komaliza kuti zitsimikizire kuti makulidwe, kumamatira, kuyera, komanso kukhazikika kwa mawonekedwe ake nthawi zonse. Semixlab ikudziperekabe kupereka chithandizo chaukadaulo chapamwamba komanso mayankho azinthu zomwe zasinthidwa kuti zigwiritsidwe ntchito pa njira za semiconductor epitaxial. Tikuyembekezera mwachidwi kukhala mnzanu wa nthawi yayitali ku China.